激光塵埃粒子計數(shù)器之三個組成部分（測量腔,光檢測器,流量監(jiān)控）淺談

　　上兩次我們分析了關(guān)于激光塵埃粒子計數(shù)器的光源以及電路系統(tǒng)，這次我們來探討一下關(guān)于其他三個組成部分的相關(guān)信息，如下：
　　激光塵埃粒子計數(shù)器是檢測塵埃粒子顆粒及潔凈廠房等級的檢測儀器,具有功能多、測量精度高、速度快、便于攜帶和操作簡單等特點。

　　測量腔
　　激光塵埃粒子計數(shù)器的測量腔是進行微粒觀測的空間，被采集的空氣要從測量腔內(nèi)穿過。儀器的光學(xué)系統(tǒng)使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測量腔中，形成一個體積約幾個立方毫米的光敏感區(qū)。當(dāng)空氣中的塵埃通過光敏感區(qū)時，會散射出一部分光能量，被與入射光成一角度（90度或70度）的集光透鏡收集，再投射到光檢測器上。

　　光檢測器
　　激光塵埃粒子計數(shù)器的光檢測器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號的光電轉(zhuǎn)換器件。激光塵埃粒子計數(shù)器中zui常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個毫伏到幾十毫伏的電信號，具有光譜線性好、響應(yīng)時間快、暗電流小的優(yōu)點，缺點是體積大。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負高壓，儀器中有相應(yīng)的高壓產(chǎn)生電路，在對儀器進行調(diào)試或校準(zhǔn)時應(yīng)注意安全。光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導(dǎo)體元件，具有體積小、外圍電路簡單的特點，常與檢測腔做成一體。

　　流量監(jiān)控
　　激光塵埃粒子計數(shù)器的采樣流量一般為2.83L/min或28.3L/min，進口儀器常標(biāo)識為0.1cfm（立方英尺每分鐘）或1cfm，主要是為了便于進行符合Fed-Std-209E的潔凈度的計算。大流量的采樣（28.3L/min）更能準(zhǔn)確地反映空氣的潔凈狀況，但使zui大采樣濃度降低。